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      激光剥离机

      激光剥离机

      产品特点 1、线形光斑的激光整形技术，实现在不同尺寸加工样品上的剥离操作 ；
      2、气浮式的工作台实现无接触无摩擦的加工形式，避免产生粉尘颗粒，保证装备内部的洁净度；
      3、高精度、大尺寸、双工位的stage设计，可有效提高生产效率 ；
      4、panel载台吸附设计。激光设备的物料载台的真空吸附部分，采用了分区域加时间延迟的设计，先吸附中间部分，再逐次往外围吸附，保证带柔性膜的panel可以无皱褶高效吸附。

      产品应用

      应用范围：柔性显示屏激光剥离。

      产品参数

      主要参数加工尺寸1"-8"
      加工速度180mm/s
      加工精度0.1μm
      平台参数1）移动精度
      X 轴： 0.1μm
      Y 轴： 0.1μm
      Z 轴： 1μm
      Theta 轴： 0.2°
      2）定位精度
      X 轴： ≤±4μm
      Y 轴： ≤±4μm
      Z 轴： ≤±5μm
      Theta 轴： 0.1°
      激光器参数1）激光器波长： 308nm
      2）激光能量： ≥600W
      3）激光脉冲功率： 1000mJ
      4）总频率： 600 Hz
      5）脉冲宽度： 24±4ns
      6）脉冲稳定性： ≤1%
      工艺方式DPSS激光剥离
      制程类型激光剥离
      Tact time1":4.5s
      8":6s
      稼动率0.9


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