一、项目基本情况:
项目编号:DZZB20230301
项目名称:椭偏仪采购项目
项目地点:深圳(交货地点为苏州)
项目要求:异质结PVD项目中心检测膜层厚度以及折射率的测试等
此次招标项目的设备清单如下:
序 号 | 设备 名称 | 详细参数 | 需求 数量 | 单位 | ||
1 | 椭 偏 仪 | 技 术 参 数 | 功能 | 1、测量样品包括玻璃/硅片等,表面是粗糙的或者平整的。 2、膜层包括单层或多层膜。 3、测量参数包括膜厚、折射率n 和消光系数k。 | 1 | 台 |
波长范围 | 全光谱测量,波长范围245-930nm,波长范围更广也可以。 | |||||
入射角 | 40°-90°可手动调节,5°步进性。 | |||||
膜厚精度 | <0.5nm(基于标准片) | |||||
折射率精度 | <0.003(基于标准片) | |||||
膜厚重复性要求 | <0.5A(1 sigma基于标准片,10times) | |||||
折射率重复性要求 | 0.0005(1 sigma基于标准片,10times) | |||||
标片数量 | 1片: SiO2 On Sicr 免清洗 | |||||
测量范围 | 膜厚: 0.1nm-20μm | |||||
硬 件 配 置 | 载物台 | 1、自由可切换的水平 倾斜载物台 电池片正反面测试无需更换台面。 | ||||
光谱仪 | 1、背照式CCD 光谱仪,光谱范围190nm-1100nm | |||||
光纤光源 | 光源寿命至少达到2000小时,光源波动<0.5%,光学器件使用寿命>10年(供应商须免费提供3个光源作为备品备件) | |||||
自动对焦 | 高精度高斯对焦模块,采用与测试系统相同光路,有效保证对焦的准确性,精度可达0.0001mm,软件可选全自动对焦或手动对焦或不对焦。 | |||||
PC | 工控机 I5以上处理器;双硬盘:固态硬盘256G存储空间,机械硬盘1T存储空间;8G内存,正版Windows操作系统 21寸显示器 | |||||
UPS | 标配 | |||||
软硬件 | 分级控制,全部参数顶级权限开放给客户自由设置 | |||||
软 件 配 置 | 软件 | 具备一键测试能力,软件永久免费升级,永久免费建模 | ||||
层级 | 分工程师、操作员、设备管理等不同层级方便设备的管理 | |||||
操作便利性 | 可无限制的编辑波长范围,拟合区间,软硬件相关参数,数据库处理,模型导入等任意操作 | |||||
测量 | 1、系统校准 | |||||
测量结果输出 | 1、可提供 Dispersion Roughness等分析模型, |
二、投标人的资格要求:
1、具备该产品生产资质或者合格代理资质,能有效提供售后服务;
2、须接受签订大族《供应商合作文件》、《廉洁交易协议》;
3、必须能提供增值税专用发票;
4、注册地址为国内;
5、须提供以下资质证明文件:
(1)营业执照;
(2)银行开户许可证;
(3)经营范围必须涵盖所投标产品;
(4)投标方须提供经营场所的租赁合同或房产证复印件;
(5)产品资料说明书;
(6)投标人认为有必要提供的声明及其他资质证明文件。
(以上文件复印件均需加盖企业公章)
三、评标标准:
鉴于我公司按功能参数要求进行招标,在开标时以投标方投标文件为主(必须随附产品资料,未提供的作废标处理),确认投标产品是否满足我司需求,综合交期、价格、付款方式折换成“综合价格”进行评比。
细则:
(1)按投标价格进行计算。
(2)综合价格=投标价格*交期系数*付款方式系数。
(3)交期系数:交期为合同签订后90天内的,交期系数为100%;交期为合同签订后80天内的,交期系数为99%;交期为合同签订后70天内的,交期系数为98%;交期超过合同签订后90天内的,废标。
(4)付款方式系数:合同签订后预付50%,验收合格后付40%,质保金10%一年后付款,该系数为97%;合同签订后预付50%,发货前支付30%,验收合格后付余款,该系数为98%;合同签订后预付50%,发货前支付40%,验收合格后付余款,该系数为99%;合同签订后预付50%,发货前支付50%,该系数为100%;付款方式不符合要求的,废标。
按如上标准评选出中标供应商及备用供应商各一名。如中标供应商不能履行合同约定,则启用备用供应商。
四、样品试用:
中标供应商须提供标准样块(包含样块标准数据),通过标准样测试结果和标准数据进行比对,评估仪器测量精度、重复性等核心性能,比对后符合要求方能签订采购合同。
试用样块需满足以下要求:膜厚精度<0.5nm(基于标准片),折射率精度<0.003(基于标准片),膜厚重复性要求<0.5A(1 sigma基于标准片,10times),折射率重复性要求0.0005(1 sigma基于标准片,10times)
五、投标时间/地点安排:
项目报名时间:2023年3月21日10:00 时至2023年4月3日16:00 时
现延迟项目报名截止时间至:2023年4月7日18:00时
投标文件递交截止时间:2023年4月4日12:00 时
现延迟投标文件递交截止时间至:2023年4月10日18:00时
项目开标时间:2023年4月11日14:30 时
开标地点:深圳市宝安区福永街道重庆路12号大族激光全球智造基地4栋
有意者请联系我公司招标部,索取详细的招标书及投标模板。
六、对本次招标提出询问,请按以下方式联系:
联系人:线永伟
联系电话:0755-86161397
联系邮箱:xianyw@pdjlihotel.com;
联系人:李长娟
联系电话:0755-86632735
联系邮箱:licj145372@pdjlihotel.com
大族激光科技产业集团股份有限公司
集采中心-招标部
2023年4月6日