此款激光器产品,采用先进的啁啾脉冲放大技术,实现近衍射极限的飞秒激光输出,在半导体和消费类电子领域已经批量使用,工艺优良,稳定性好。
产品应用:
1)切割,钻孔,划线(玻璃,硅,陶瓷,柔性电路板);
2) 薄膜图案(金属,薄膜);
3)打标(玻璃,硅,陶瓷,金属,塑料)。
序号 | 参数 | 规格 | 备注 |
1 | 运行模式 | 脉冲 | |
2 | 平均功率(W) | 50w@600kHz | 20w@100kHz |
3 | 中心波长(nm) | 1030 | |
4 | 线宽(nm) | <3 | 3dB线宽 |
5 | 重复频率(kHz) | 50-2000 | 可调 |
6 | 脉冲宽度(fs) | 600-30000fs | 可定制 |
7 | 最大单脉冲能量(uJ) | 200 | |
8 | 功率调节范围(%) | 0-100 | |
9 | 响应时间(us) | <100 | |
10 | 光束质量(M2) | ≤1.3 | |
11 | 功率稳定性(%) | ≤2% | 24h |
12 | 光斑大小(mm) | 2.5±0.3 | 1/e2 |
13 | 光斑椭圆率(%) | >90 | Typ.93% |
14 | 光束偏移量(mm) | <1.0 | |
15 | 光束发散角(mrad) | <0.5 |